光刻机概念局部异动 张江高科涨停【光刻机概念局部异动 张江高科涨停】财联社5月20日电，光刻机概念局部异动，张江高科封涨停，此前晶方科技涨停，海立股份、苏大维格、上海新阳、蓝英装备、波长光电、佳先股份纷纷冲高。
