在射频 /微波/毫米波测试中，除了同轴和波导互连器件之外，射频测试探针也是与DUT交互的主要器件。射频测试探针主要是连接到元件引线或微带焊盘的表面探针，在射频设备和元件的特性、一致性和质量测试中都至关重要。

射频同轴GS探针，1500 微米间距，DC - 40 GHz，用于对接电缆，2.92mm接口

一、射频测试探针的构成

射频测试探针通常由适合探针针型的波导或同轴连接器组成。探针针型包括单针、接地/信号针、接地/信号/接地针以及同轴针等。这些探针适用于连接位于半导体晶圆、芯片表面或印刷电路板(PCB)表面上的元件/设备测试点或针盘。如果由于性能、成本或空间限制而无法在表面或元件/设备上放置同轴或波导连接器，在这种情况下通常会采用探针。

射频测试探针通常与具有高口径定位机制或电子器件的探测设备一起使用，从而实现对探针x，y，z以及附加轴的微小调整。一些简单的机械测试探针定位器仅能够在测试过程中将探针固定在适当的位置，而具有机器人功能的更复杂的探针定位器能够通过编程来自动定位探针，可适用于大批量测试。

射频同轴 GSG 探针，800 微米间距，DC - 20 GHz，用于对接电缆，3.5mm接口

二、射频测试探针在测试测量应用中的重要性

在测试测量应用中，射频测试探针为何如此重要呢，主要是射频测试探针具有以下特点：

1）高速传输能力：具备高速传输高频信号的能力，能够在短时间内捕捉和传输信号，确保电子设备对数据传输速度的高要求。

2）阻抗匹配：能与待测设备实现良好的阻抗匹配，减少信号在传输过程中的反射和衰减，保证信号的完整性和稳定性。

3）低失真：在传输信号时，具有尽可能低的失真能力。这使得在测试过程中，可以准确获取原始信号的信息，避免测试结果受失真信号的干扰。

射频PCB测试探针，定位装置适用 PE2PB 系列

因此射频测试探针最常见的用途之一是对处于高频工作状态的元件和设备进行晶圆级测试。在某些情况下，一些射频测试探针适用于测试最高工作频率达到数百GHz的毫米波电路。还有几种类型的射频测试探针，可以通过焊接或以机械的方式连接到测试表面（通常是PCB的表面）。但它们只在这种高质量和高成本的互连是绝对必要的情况下使用，因为它们通常无法在不牺牲互连质量的情况下撤回。