2024年!“中国芯”还需要DUV光刻机吗?

科技新知独一份 2024-01-21 06:37:21

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ASML非常想做中国市场的生意,奈何美国和荷兰频繁修改规则,从EUV光刻机到DUV光刻机,ASML 都被施加了严厉的束缚。2024年开年之初,ASML 就发表声明,荷兰撤销了部分高端DUV光刻机的许可证。

这意味着往后中国想要购买先进的DUV光刻机没那么容易了,但根据ASML 表示,已经累计向中国出货了1400台光刻机。许可证撤销之前,中国企业也大量下单了,因此2024年“中国芯”还需要DUV光刻机吗?

ASML的无奈

光刻机是制造芯片的核心设备之一,用于将电路图案投射到硅片上,是芯片制造过程中最关键的步骤之一。ASML的光刻机具有高精度、高分辨率和高稳定性的特点,能够实现微米甚至纳米级别的图案转移。

其先进的光刻技术,如多重曝光、多层次曝光和极紫外光刻等,可以实现更高的集成度和更小的芯片尺寸。正因如此,中国芯片制造业在追赶国际先进水平的过程中,需要依赖ASML等公司提供的光刻机设备来实现先进工艺和高质量的芯片制造。

但ASML并不能把所有的光刻机都出口到中国大陆,多年前美国限制ASML出货最先进的EUV光刻机。去年荷兰和美国达成协议,对NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统采取出口管制措施,规则从2023年9月1日开始执行。

也就在这一天,ASML表示获得了2023年内的出口许可证。进入到2024年,ASML迅速发布声明称荷兰撤销了对中国出口的高端DUV光刻机许可证,这可能会给少数客户带来影响。

从声明中可以看出ASML的无奈,毕竟大好的市场前景就摆在眼前,频繁被限制出货等同于断了ASML的财路。

中国还需要更多DUV光刻机吗?

ASML对中国出货光刻机只是想赚钱,而中国获得光刻机与否事关本土芯片产业发展。从整体来看,中国其实还需要更多的 DUV光刻机,因为中国定下了70%的芯片自给率目标,中芯国际,华虹集团等国产厂商都在积极推进各自的12英寸晶圆厂,加大产能布局。

在这个关键时刻,ASML多款高端DUV光刻机设备被断供,或正如ASML所说,会对少数客户造成影响,但ASML并没有指名道姓,这些客户会遭受怎样的影响也尚不可知。

但可以确定的是,若能得到更多的DUV光刻机供货,中国芯片制造企业可以生产出更高质量的芯片产品,赢得更多的市场份额。

其实ASML并不是所有的DUV光刻机都被限制,还有一款设备型号为 NXT:1980Di。ASML官网对这款光刻机的介绍是分辨率大于等于38nm。

这只是一次曝光的分辨率,如果进行多重曝光,则能够将分辨率提高到7nm,只是对芯片工艺和制造成本都会提出更高的要求。

ASML的光刻机只是芯片制造的一种选择,若ASML长期不能出货,中国迟早会通过自研取得突破,到时候要不要国外的光刻机,就由我们说了算。

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