1月22日，半导体设备ETF（561980）开盘涨1.44%，报2.528元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘涨1.18%，北方华创涨1.14%，寒武纪跌0.73%，中芯国际涨1.41%，海光信息涨4.82%，拓荆科技涨1.53%，长川科技涨0.94%，华海清科涨2.14%，中科飞测涨1.35%，南大光电涨1.05%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为148.93%，近一个月回报为28.31%。

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