荷兰光刻机巨头ASML曾表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不可能了，但是中国一直没有放弃，研发投入每年增速超过20%。

​ASML那帮人说，在美国的压力下，咱们中国企业想买到最顶尖的光刻机，基本没戏。这话听着刺耳，但咱们心里有数，从来没认过输。咱们的研发花钱一年比一年多，涨得比谁都快。

这话不是空口说的。2026年国家集成电路产业投资基金三期砸了3440亿人民币，光光刻机领域就占了近三分之一。上海微电子去年研发投入120亿，今年直接飙到150亿，增速刚好卡在25%，比ASML自己的16%还高出一截。长春光机所、国望光学、华卓精科这些硬核玩家，哪个不是拿着真金白银在跟时间赛跑。

ASML CEO富凯今年5月接受路透社采访时说得直白，中国现在能买到的DUV光刻机，都是他们2015年的技术，落后整整11年。更狠的是美国4月刚出台的MATCH法案，不光EUV不让卖，连DUV浸没式都禁了，甚至不准给已售设备做维保。等于说，以前是不让你买新车，现在连你开了几年的旧车都不给修，换轮胎、做年检、软件升级全卡脖子。

但他们好像忘了，中国人最擅长的就是在绝境里开出路来。上海微电子的28nm DUV光刻机去年就送中芯国际上机测试了，核心零件国产化率已经超过70%，国产光刻胶也同步通过验证。长春光机所的EUV光源工程样机早就亮过相，13.5nm波长的极紫外光已经能稳定输出 。华卓精科更牛，成了全球第二家掌握纳米级双工件台技术的企业，这可是ASML垄断了十几年的核心命门。

你以为咱们只在整机上发力？太天真了。国望光学的28nm浸没式物镜系统已经小批量供货，正往EUV级多层膜反射镜冲。中科院上海光机所搞出全固态深紫外光源，直接把工艺验证能力推到3nm理论极限 。就连最不起眼的光刻胶，上海新阳、南大光电都拿出了能对标国际水平的产品，中芯国际28nm产线上国产胶的使用率已经到了30%。

ASML那边其实也不好过。2025年中国买了他们80.1亿欧元的设备，占总销售额33%，是他们最大的单一市场 。今年一季度这数字直接掉到19%，富凯在财报会上脸色铁青，说"这是ASML成立以来最严峻的市场挑战"。他们一边喊着"中国15年内造不出EUV"，一边偷偷把研发团队扩了20%，生怕咱们哪天突然超车。

这里藏着个关键逻辑，很多人没看明白。咱们不是非要跟ASML在EUV上死磕，而是在走"双线并行"的路。成熟制程这边，28nm DUV国产化已经看得见摸得着，中芯国际用国产设备加多重曝光技术，已经能稳定产出14nm芯片，足够满足汽车、物联网这些领域的需求 。先进制程那边，EUV研发没停，但咱们也在搞"光刻厂"模式，把EUV的核心技术拆分成多个模块，由不同团队并行攻关，降低单点突破的难度。

有个细节特别提气。去年深圳某实验室悄悄组装出了EUV原型机，虽然跟ASML的商用机还有差距，但已经能跑通基本流程，11亿元的测试产线都试运行了。哈尔滨工业大学更猛，直接官宣攻克13.5nm波长EUV光源，这可是EUV光刻机最核心的部件，之前只有美国Cymer一家能做 。这些进展，ASML可能知道，但他们绝对不敢说透。

咱们的研发投入增速超20%，不是瞎砸钱，而是精准打在痛点上。国家层面有大基金托底，地方政府配套补贴，民间资本也蜂拥而入。上海给光刻机企业最高5000万的研发补助，北京对核心零部件企业按投入的30%给奖励，深圳更是直接给EUV项目开了绿色通道，审批时间缩短一半。这种举国之力的打法，ASML再强也扛不住。

还有个被忽略的优势，就是咱们的市场规模。中国一年要消耗全球50%以上的芯片，2025年芯片进口额高达4300亿美元。只要咱们能造出能用的设备，哪怕性能比ASML差一点，国内企业也会买账。中芯国际、长江存储这些巨头早就表态，只要国产设备能达到80%的性能，就愿意用，还愿意一起迭代优化。这种市场反馈机制，是任何国家都比不了的。

ASML说咱们买不到EUV，这话没错。但他们忘了，中国人从来就没打算一直买别人的东西。从两弹一星到北斗导航，从高铁到5G，哪次技术封锁不是最后变成了咱们的技术红利。现在的光刻机，不过是又一个要被攻克的山头。每年20%+的研发增速，不是数字，是千千万万工程师熬夜的灯火，是国家战略的决心，是中国科技突围的底气。

你觉得中国多久能造出EUV光刻机？咱们的"双线并行"策略能成功吗？欢迎在评论区说出你的看法，一起见证中国芯片产业的突围时刻。

信源：新华社2026年5月21日报道《中国光刻机研发持续突破 全产业链自主可控加速推进》