半导体设备全产业链深度梳理（附核心公司名单）一、产业链全景半导体设备产业链自上而下分为三个核心环节：· 上游（核心零部件）：机械类（精密结构件、腔体）、电气类（射频电源）、光学类（光学器件）、气体/真空系统类等· 中游（设备制造）：前道晶圆制造设备（光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CMP、清洗、涂胶显影、量检测等）及后道封装测试设备· 下游：集成电路制造、封装测试等市场规模：2025年全球半导体设备销售额达1351亿美元，同比增长15%；中国大陆2025年设备销售额493亿美元，连续六年全球第一。2026年一季度中国内地设备采购额约98亿美元，同比增长25%。前道制造设备占整体市场80%以上，其中光刻、刻蚀、薄膜沉积合计占前道设备市场的60%以上。---二、各环节核心公司（一）平台型龙头——覆盖多环节北方华创（002371）：国内半导体设备平台型龙头，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、清洗等前道核心工艺，12英寸先进制程设备已大规模量产。2025年归母净利润55.22亿元，位居国产设备商第一。中微公司（688012）：国内刻蚀设备龙头，CCP刻蚀设备累计装机超5000反应台，5nm及以下先进制程刻蚀设备已实现量产。2025年刻蚀设备收入达98.32亿元，同比增长35%。薄膜沉积业务进入规模化阶段，LPCVD设备2025上半年收入同比暴增608%。---（二）前道关键设备——细分龙头1. 薄膜沉积设备——拓荆科技（688072）国内唯一实现12英寸PECVD设备大规模量产的厂商，产品覆盖PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等系列。已进入国内主流晶圆厂先进制程产线。2. 清洗设备——盛美上海（688082）全球第四大清洗设备商，单晶圆清洗设备技术国际先进。产品覆盖半导体清洗设备、电镀设备和先进封装湿法设备。3. CMP设备——华海清科（688120）国内唯一12英寸CMP设备量产厂商，市占率超90%。同时布局离子注入装备，全资子公司芯嵛半导体的12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家晶圆厂。4. 涂胶显影设备——芯源微（688037）国内唯一实现前道量产型涂胶显影设备商业化的厂商，涂胶显影是光刻机的配套核心设备。5. 量检测设备——中科飞测（688361）国内领先的半导体质量控制设备提供商，产品覆盖无图形/图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚测量等环节。2025年营收20.53亿元，同比增长48.75%。6. 离子注入设备——万业企业（600641）旗下凯世通是国内离子注入机领军企业，产品覆盖低能大束流、超低温、高能离子注入机等多款机型，已通过国内多家12英寸主流晶圆厂验证验收。7. 热处理/去胶设备——屹唐股份去胶、热处理及刻蚀设备龙头。---（三）后道及测试设备华峰测控（688200）：国内模拟及混合信号测试设备龙头，产品用于芯片封装后功能、性能检测。长川科技（300604）：测试设备核心厂商，产品覆盖测试机、分选机、探针台、AOI光学检测设备等。---（四）上游核心零部件富创精密：国内半导体精密零部件龙头，全球少数可量产7nm零部件的企业，为应用材料第一大客户，深度绑定北方华创、中微公司。新莱应材：管阀等产品已用于量检测、离子注入、刻蚀、薄膜沉积等设备。茂莱光学（688502）：精密光学综合解决方案提供商，与上海微电子等光刻机企业建立稳定合作关系。英杰电气：射频电源环节核心标的，对刻蚀工艺形成关键支撑。

以上内容仅为产业信息梳理，不构成任何投资建议。