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【国内首次发布硅-28硅烷特气与外延片】近日,硅及先进半导体材料全国重点实验室、

【国内首次发布硅-28硅烷特气与外延片】近日,硅及先进半导体材料全国重点实验室、浙江大学杭州国际科创中心(简称科创中心)信息与功能材料研究院量子信息硅团队,在“第二届量子科技前沿论坛”上首次发布硅-28 硅烷特气与外延片两项成果,为硅基量子芯片研发补上关键上游材料。团队由中国科学院院士、科创中心首席科学家杨德仁与余林蔚教授带领,相关成果是团队承担的国家科技重大专项“量子信息硅-28同位素外延片制备及应用”的重要阶段性进展。
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(来源:浙大杭州国际科创中心公号)