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三星海力士都没跑通,长鑫4F² DRAM是如何把晶体管竖起来的?

2026年10月10日,长鑫科技总裁曹堪宇站在第四届集成芯片和芯粒大会的讲台上,宣布了一个消息:长鑫自研的4F² DRAM架构研发取得关键进展,预计年底推出基于这项技术的新一代DDR5 RDIMM产品。
嘉宾在第四届集成芯片和芯粒大会现场发言
这不是一次常规的制程迭代。长鑫做的,是让DRAM存储芯片里的晶体管“站起来”。
一个“躺”了四十年的东西,为什么要站起来要理解这件事的分量,得先知道传统的DRAM是怎么造的,以及它现在卡在哪儿了。
目前全球主流的DRAM架构统一叫6F²。这个“F”是光刻工艺里最小特征尺寸的代号,6F²翻译过来就是:一个存储单元占的面积,等于6个最小线宽的平方。几十年了,整个行业的升级逻辑极其一致——拼命把“F”这个数字做小。
从17纳米的1x节点,到14纳米的1y节点,再到11纳米的1z节点,每一代都是在同一个6F²框架里,靠更精细的光刻机把线宽再挤一挤,让每个单元占的面积缩小一点。
这种打法现在快走到头了。问题出在DRAM的构造上。每个存储单元由一个晶体管加一个电容器组成,电容器里存的电荷多少决定这是逻辑“1”还是“0”。线宽越缩越小,电容器的体积也跟着被压缩,可你必须让它存得住足够的电荷,于是只能往高度上找补。
现在业界主流产品的电容深宽比已经超过40:1,正在往60:1逼近——想象一根牙签粗细的东西,要挖成一个三米深的针孔,还要求孔壁绝对笔直、不碰邻居、不塌不裂。这种结构的制造难度已经逼近物理极限,漏电、短路、数据存不住,所有毛病一起爆发。
更要命的是,继续在这条路上往下走,必须砸更多的EUV光刻机、更高端的刻蚀设备,而这些东西对中国厂商来说,恰好在越来越严的出口管制清单上。
长鑫这次选的路,逻辑完全不一样:不跟“F”较劲了,直接改变晶体管的摆放方式。
传统的6F²结构里,晶体管的沟道是水平躺着的——电流在硅片表面横着流,栅极从上面盖住它。当线宽缩到10纳米以下,沟道短到一定程度,栅极就管不住电流了,关断状态下也会漏,这叫短沟道效应。
长鑫做的VSG垂直包围栅晶体管,是把沟道竖起来,然后栅极从四面八方包住它。这就像你用手握一根水管——用手掌从上面压和用整只手360度握住,哪个关得更死?
不是因为用了更贵的设备、把线宽刻得更细,而是因为换了结构,同样的F值下,一个存储单元占的面积直接从6F²降到4F²,缩小了大约三分之一。
这才是真正的“架构创新替代制程微缩”。传统路线上,密度提升靠缩小F,4F²路线上,密度提升靠减少F前面的系数。
从器件到产线,整个流程都不一样了如果只是把晶体管竖起来,事情可能还简单一点。问题是,这个动作把之前整个制造流程的设计前提给推翻了。
传统6F²的每一代升级,都是在原有工艺框架里做优化——字线怎么做、位线怎么走、电容怎么刻,大体路子不变,只调参数。但晶体管一竖起来,电流的走向、蚀刻的深度、金属导线的排布全变了,原先6F²的设计和工艺流程基本没法复用,得从头搭一套新体系。
长鑫在研发中同步完成了字线金属化、位线成型、结激活等核心工艺的重构,等于是给竖起来的晶体管量身定做了一条全新产线。
这里面还有一个关键的集成创新:混合键合。
传统DRAM是把存储阵列和外围逻辑电路做在同一片晶圆上,一个工艺绑死另一个工艺。你想把存储单元密度做高,外围电路也得跟着用同一套苛刻的制程条件,性能和成本两头妥协。
长鑫的办法是把两者彻底拆开——存储阵列在一片晶圆上独立制造,逻辑电路在另一片晶圆上用成熟的CMOS工艺制造,然后通过晶圆级的铜铜直接键合,把两片贴在一起,中间用高速互联打通。
这意味着什么?存储单元那边只管死磕密度和可靠性,逻辑电路这边只管拼速度和功耗,两边的工艺不用互相拖累。更实际的一点是,外围电路可以复用现有的成熟产线,不需要为了同步跟进存储单元的微缩节奏,额外采购一大堆新一代的高端刻蚀、沉积设备。
三星花了多年推进4F² VCT方案,至今只完成原型验证,最新的路线图里甚至把这个方案降级为派生版本,主力转向混合键合的B1b路线。SK海力士也仅把4F²作为长期技术平台,没有独立量产。美光更直接,判定4F²的投入产出比太低,跳过它直接去攻单片3D DRAM。

三家巨头都没在这条路上跑通量产,长鑫成了第一个把它推到产品落地阶段的人。
长鑫存储办公园区外景
当然,这不代表前面的路就平坦了。4F²架构的垂直通道蚀刻是公认的工艺难点,高深宽比刻蚀过程中容易出现孔弯曲、扭曲、倾斜,一旦形状不对,相邻单元就可能短路,良率直接受影响。
另外,长鑫把首代4F²产品定在服务器DDR5 RDIMM赛道,这是个要求极其苛刻的场景——得支持7×24小时不间断运行、能扛住带电热插拔的电压冲击、跟不同厂商不同代际的CPU和主板完成数百项兼容性测试。
消费级内存追求“跑得快”,服务器内存追求的是“一直跑,不出错,在哪里都能跑”。第一代产品就直攻这个场景,技术验证的压力不小。
但方向本身的意义是清晰的。当海外巨头还在靠EUV和多代微缩堆密度的时候,长鑫用一次底层结构的重构,绕开了其中最要命的那堵墙。这不是弯道超车,是选了另一条路去同一个终点。