日本政府已经与美国和荷兰联手，对出口到中国的半导体生产设备进行监管。中国是日本半导体设备制造商的主要市场之一。这些限制针对的是最先进的工厂设备，但是，它的影响会十分深远，包括对半导体生产的"后端"的影响。一些日本公司可能会被迫重新考虑他们的中国战略。

阻止中国获得所有先进的设备项目和制造技术

2022年10月，美国政府大幅收紧了对中国的半导体出口限制，理由是这可能导致中国军事力量的增强。它针对的是中国先进半导体工厂中使用的所有物品。所谓先进半导体包括电路线宽度为16纳米或14纳米以下的逻辑半导体。

不仅是美国，荷兰和日本在先进半导体的制造设备方面也有很高的全球市场份额。为了防止出现管制漏洞，美国政府要求日本和荷兰合作。据美国和欧洲媒体报道，上个月27日，这三个国家同意对出口到中国的半导体制造设备进行监管。

日本已经与美国深化了在半导体供应链方面的合作，两国在监管方面也将步调一致。一位日本政府人士指出，"除非荷兰的ASML公司参与进来，否则效果会很弱"，因为ASML公司在EUV（极紫外光）光刻设备的世界市场占有率上占据主导地位，而EUV设备对于制造个位数纳米范围内的半导体来说必不可少，荷兰政府与ASML公司的联手合作，也是日本政府参与的重要条件。

日本政府目前正在研究与中国有关的监管范围。然而，"这项技术能在多大程度上被转用于先进的军事技术？现实情况是很难划定这个界限"。英国研究公司Omdia的高级咨询总监南川明指出，"同一设备可以制造的半导体范围很广，从18、22和28纳米，很难在14纳米处精确划线"。据外电报道，一位美国政府官员说，日本和荷兰的现有法规"不像美国那样详细，需要几个月的时间来实施"。

更严格的管制肯定会不可避免地影响日本制造商的中国业务。早稻田大学的长内厚教授指出，"中国业务的减少要如何得到补偿？日本政府需要考虑这个问题"。例如，可以考虑提供支持，如优先考虑将日本制造的部件用于美国的半导体工厂。他说："美国是旗手，日本与之步调一致，但是，我们也应该假设如果一起用的梯子被移除会发生什么”。

据乐天证券研究所首席分析师今中能夫称，自2022年10月美国政府收紧对中国的半导体限制后，14/16纳米及更小的芯片制造工厂在中国的建设就已经停止了。这是因为美国的应用材料公司和美国的拉姆研究公司已经限制了对中国的出口。与此相呼应，东京电子公司对中国的出口也被停止了。正如今中解释的那样，"我们不能发货是因为工厂建设被停止了，而不是因为我们对中国的羞辱"。

一些效果似乎已经达到预期，但是，美国政府仍然要求日本和荷兰合作的原因是"防止中国制造商在与日本和荷兰制造商合过程中作学习先进的半导体制造技术"，据今中说。例如，尼康在全球"ArF浸入式"光刻设备市场上占有一定份额，比EUV早一代。使用多个ArF浸入式设备会增加成本，但用它就有可能在个位数的纳米范围内制造半导体。据报道，中国主要的半导体合同制造商中芯国际已成功地使用这种方法大规模生产7纳米级的半导体，今中指出，"美国可能在说，中国也应该停止使用ArF浸泡法"。

担心会减少30%甚至一半的销售份额

国内半导体设备制造商在20世纪80年代完善了他们的技术，当时半导体是日本的主导产业之一，随后他们还扩大了海外的销售渠道，发展到今天已经有了全球规模。今天，世界上最大的15家半导体设备制造商中有7家是日本公司。

中国作为半导体设备制造商的销售目的地，影响力正在增加。根据行业协会SEMI的统计数据，2021年全球半导体设备制造商向中国出售了296.2亿美元的设备，按地区排名为第一，超过了中国台湾省和韩国。在过去十年里，销售额增长了八倍多。

日本半导体设备制造商对中国的销售份额约为28%。由于中国有许多主要的半导体制造的后端代工厂，后端设备制造商的比例往往很高，DISCO约占31%，但是，从事前端设备的东京电子和Screen Holdings也约占26%的份额。

自2022年10月美国采取独立行动限制向中国出口先进半导体以来，一些日本半导体设备制造商的业绩已经受到了影响。在12月9日的财务业绩会议上，东京电子公司财务部总经理川本弘表示，10-12月期间对中国的半导体设备销售比例为22%，比去年同期下降了4个百分点，价值约2.2亿美元。"除了实际需求的下降，针对中国的法规收紧也是一个因素"。

据了解，这是因为中国的半导体制造商无法从美国制造商那里购买设备，因此，也只能停止购买东京电子公司生产的效相关设备。

对日本半导体设备制造商的影响今后是否会进一步扩散？OMDIA的南川指出，"针对中国的一半以上的业务可能会消失"。就前端设备而言，很难按线宽严格划定性能，这自然会导致更多的设备受到管制。

逃避监管的前端设备的需求也可能会下降。如果EUV和ArF光刻设备变得不可用，就没有必要引进老一代的设备。

需要监测趋势，并审查战略

日本半导体设备销售按地区划分的情况

一些人预测，2023年中国半导体设备市场将比上一年减少35%。有理由认为，受半导体生产量影响的后端制造设备的需求，在未来也会下降。

半导体设备制造商现在都是守口如瓶。'我们希望避免对细节进行评论，但是，毫无疑问，这是一个不能忽视的风险。我们将继续监测未来的趋势并采取适当的行动，"东京电子公司总裁兼首席执行官河合利树在结果发布会上说。尼康的高级管理执行官和首席财务官（CFO）德成旨亮也表示，"如果日本政府作出正式宣布，并且指导方针变得明确，我们将按照规则行事"。尼康一直在开发包括中国在内的亚洲新客户，以减少对北美客户的依赖，据估计，北美客户占ArF光刻设备的80%左右，但是，未来可能会被迫审查其一些战略。

日本半导体设备制造商，必须努力通过适当的信息传播向市场和客户提供保证，同时积极主动地游说政府，以确保他们不会因为这次收紧法规而单方面遭受损失。

《日刊工业新闻》2月20日