等离子体改性指利用等离子体中的自由基、离子、激发态物质、紫外光等来改变材料表面的：

1，化学组成（官能团）

2，能量（亲水性/疏水性）

3，粗糙度

4，粘附能力

5，清洁度

等离子体作用深度通常只有 1–10 nm，是纯“表面工程”，不会改变材料本体性质

等离子体材料改性过程

以PEEK为例：

第一步：打断旧键

等离子体中的高能粒子（电子、离子等）像无数微小的子弹一样轰击 PEEK 表面。

这些粒子的能量足以打断 PEEK 分子链中原本稳定的 C-C 键 和 C-H 键。

表面出现了许多“断臂”的碳原子，我们称之为自由基。这些自由基处于极不稳定的状态，非常渴望抓取新的原子来填补空缺。

第二步：嫁接新基团

这是改性的核心。一旦表面有了自由基，只要环境中有活性元素（通常使用氧气 O2 或空气作为工艺气体），反应就会发生。

化学反应： 气体电离产生的氧自由基或者空气中的氧气，迅速与表面“断臂”的碳原子结合。

引入官能团，处理后的表面成功引入了含氧官能团，主要包括：

C-O (醚键或羟基)

C=O (羰基/酮基)

COO (羧基/酯基)

3. 改性结果：从“憎水”变“亲水”

极性增加： 引入的这些 含氧官能团 (C-O, C=O, COO) 都是极性基团。

表面能提高： 它们就像一个个微小的“抓手”，能紧紧抓住水分子等。

等离子改性的常用气体体系

来源于Tom聊芯片智造，作者芯片智造