A股光刻机相关概念股梳理如下：
1、华融化学（301256）：公司从事湿电子化学品业务，主要包括超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等。
2、新莱新材（300260）：公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中。
3、国林科技（300786）：子公司国林半导体臭氧设备产品从2023年进入半导体领域。
4、飞凯材料（300398）：公司的半导体级光刻胶产品已进入客户验证阶段。
5、双乐股份（301036）：国内光刻胶颜料主要生产厂家。
6、国风新材（000859）：公司研发的光敏聚酰亚胺（PSPI）光刻胶在光刻机中扮演重要角色，用于半导体封装等领域。
7、红宝丽（002165）：公司的主要产品是异丙醇胺，该产品可以应用于光刻胶清洗。
8、凯美特气（002549）：控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。
9、西陇科学（002584）：在光刻胶领域有所突破，其在2019年半年报中披露了光刻胶关键技术突破并获大客户认可，且当时光刻胶已进入筹备中试阶段。
10、海立股份（600619）：其控股子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统。
11、兴业股份（603928）：公司已研发成功半导体光刻胶用酚醛树脂、特种半导体封装用酚醛树脂等一批特种有机合成功能新材料。
12、江化微（603078）：公司从事光刻胶及光刻胶配套试剂等专用湿电子化学品的研发、生产和销售业务。
13、七彩化学（300758）：公司的光刻胶中间体已经实现产业化并对外销售。
14、高盟新材（300200）：公司通过参股北京科华微电子材料有限公司，间接参与了光刻机相关业务，持有其3.67%的股份。
15、常青科技（603125）：“2-乙烯基萘”为公司募投项目规划产品之一，可用于高端光刻胶的生产，项目尚在建设当中。
以上个股仅供参考，不作为买卖依据，股市有风险，入市需谨慎！
