#芯片制造中光刻胶起什么关键作用#在芯片制造流程中，光刻环节至关重要，光刻胶则是

昉风轻扬柳 2025-05-27 11:43:20

#芯片制造中光刻胶起什么关键作用#在芯片制造流程中，光刻环节至关重要，光刻胶则是光刻工艺的核心耗材。它是一种对光线照射或辐射极为敏感的材料，受到特定辐射时，溶解度会发生急剧变化。 在光刻时，先在硅片表面均匀涂布光刻胶，再通过掩模版曝光，光刻胶依据掩模版图案发生化学反应。正性光刻胶受光部分显影时被溶解去除，负性光刻胶则相反。 通过这一过程，将掩模版图案精确转移到光刻胶上，为后续蚀刻、离子注入等工艺奠定基础，最终构建出复杂精密的芯片电路结构 。

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