目前网传的中国EUV4种技术路径：
1、华为 LDP激光诱导放电等离子体光源光刻机
2、长春光机所 DPP（气体放电等离子体）- EUV
3、中芯国际&上海光机所 LPP-EUV（即ASML目前的方案）
4、清华大学&雄安 SSMB（稳态微聚束）-EUV
相关个股：中芯国际 港股 00981 近半年涨幅14.8%
目前网传的中国EUV4种技术路径： 1、华为 LDP激光诱导放电等离子体光源光刻
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