光刻机产业链进行全景梳理分析！
涵盖整机、核心部件（光源、物镜、控制器等）、辅助材料（温控、特种气体）、配套服务等环节，涉及多领域概念股。催化事件为台积电拟2026年提高高端工艺价格，凸显半导体制造产业链的成本与供应压力，进一步强化了光刻机国产替代的紧迫性，因此产业链各环节国产化企业均具备长期发展逻辑，市场关注度持续提升。
二、个股逐一分析
（一）整机领域
奥普光电：长春光机所唯一上市平台，依托科研院所技术背景，在光学系统等领域具备优势，是光刻机整机环节的核心标的之一。
上海电气系（上海电气、电气风电、海立股份、上海机电、赢合科技）：因上海电气集团持股关系关联，而上海微电子是国内光刻机整机核心企业，这类公司受益于上海微电子的技术突破与市场拓展。
张江高科、东方明珠：间接持股上海微电子，通过股权关联分享上海微电子的发展红利。
茂莱光学：精密光学器件已供货上海微电子，直接切入光刻机整机供应链，是光学部件关键供应商。
（二）部件-光源领域
福晶科技：BBO晶体全球市占率第一，为光刻机激光器提供上游核心材料，技术壁垒极高。
永新光学：光刻机镜头可应用于PCB光刻设备，凭借光学镜头领域积累拓展至光刻机赛道。
- 波长光电：供应光刻机平行光源系统，专注光学系统领域，为光刻机提供关键光源组件。
（三）部件-物镜、控制器领域
赛微电子：为光刻机厂商提供MEMS透镜部件，MEMS技术在光刻机中有特定应用场景。
电科数字：子公司可供货光刻机控制器，依托工业控制领域技术积累切入该环节。
蓝英装备：提供清洗系统及表面处理设备，是光刻机制造中洁净设备环节的重要参与者。
美埃科技：供应超高洁净等级设备，入选国外企业供应商白名单，保障光刻机制造的洁净环境。
金力泰：为上海微电子光刻机重要部件提供表面处理服务，参与核心部件制造流程。
安达智能：解胶（单体舱）项目实现光刻机自动化取料送料、光刻胶自动去除，属于自动化设备环节。
炬光科技：提供光刻机曝光系统核心元器件——光场均匀化器，是曝光系统关键部件供应商。
（四）部件-光学器件领域
腾景科技：多波段合束器进入微纳光子链，在光学元件创新应用上契合光刻机需求。
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用定位光栅产品，光栅是光刻机定位的核心部件，技术壁垒突出。
晶方科技：子公司向ASML供发光路零部件，既参与国际巨头供应链，也服务国内光刻机产业。
富创精密：半导体零部件营收规模A股第一（12.9亿元），为光刻机提供各类精密零部件，是核心供应商。
新莱应材：半导体零部件营收规模A股第二（7.1亿元），与富创精密类似，提供光刻机所需精密部件。
（五）部件-结构件领域
联合精密：布局光刻机零部件规模生产，提供结构件等核心部件。
中瓷电子：静电卡盘、陶瓷加热盘进入上海微电子供应链，陶瓷部件在光刻机中应用广泛，技术要求严苛。
华亚智能：供应光刻机设备精密金属结构件，保障设备机械部分的稳定性。
百傲化学：参股企业芯慧联自研的混合键合设备已出厂交付，属于光刻机相关的先进封装设备领域，拓展产业链环节。
（六）辅助材料-温控领域
同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机，保障设备温度控制精度，是温控环节关键标的。
海立股份：为光刻机提供冷却系统配套（与上海微电子实控人一致），属于整机配套环节。
（七）辅助材料-特种气体领域
凯美特气：电子特气业务毛利率提升至45%，是国内唯一同时通过ASML和日本GIGAPHOTOR双认证的光刻气供应商，光刻气国产替代空间巨大。
中船特气：国内首家通过EUV级光刻气验证的企业，EUV光刻气技术壁垒极高，其突破具有里程碑意义。
南大光电：ArF光刻胶通过中芯国际28nm产线验证（虽为光刻胶，但属于光刻环节材料），同时布局光刻气领域，是光刻产业链材料核心标的。
金宏气体：高纯氨纯度达7N级，进入长江存储、华虹半导体供应链，高纯氨在半导体制造（含光刻机工艺）中用途广泛。
（八）服务领域
东方嘉盛：建设光刻机管理维修保税仓库，提供光刻机维修、仓储服务，属于产业链配套服务环节，保障设备维护与供应效率。
三、总结
咱们这次梳理完整呈现了光刻机产业链从整机到细分部件、材料、服务的全环节布局，国产替代是核心长期逻辑。催化事件进一步强化了产业链的关注度，各环节均有具备技术壁垒或国产突破的。
咱们需区分短期概念炒作与长期业绩兑现逻辑，重点关注技术进展、市场拓展节奏及行业竞争格局变化，优选在细分领域具备不可替代性、国产替代确定性强的标的。
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