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“中国永远都造不出光刻机?”去年,中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言:“美国都

“中国永远都造不出光刻机?”去年,中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言:“美国都造不出,中国永远也造不出来!”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。   芯片战场上,一位老教授的断言如冷水泼来:光刻机这大家伙,美国都搞不定,中国就更别提了,全球没人能单干。这话一出,网上炸锅,有人叫好现实,有人直呼泄气。封锁加码,国产路在何方?       光刻机这东西,说白了就是芯片厂里的“画笔”,用激光在硅片上刻出纳米级的电路图案。没有它,手机芯片、汽车脑子啥都玩不转。全球市场基本被荷兰ASML一家包圆儿,他们的极紫外机一台上亿刀,里面塞了光学、激光、真空一大堆高精活儿。光源靠美国,日本管材料,德国出镜片,供应链拉全球5000多家供应商。ASML不是单打独斗,美国自己也得靠进口零件组装。   去年,美国那边管得更严了。2023年9月,荷兰政府应美方要求,停售ASML的深紫外机型TWINSCAN NXT:1970i和1980i,这些本该支持28纳米以下的活儿。2024年1月,又撤了好几项许可。中芯国际他们只能用老库存,多曝光凑合7纳米,成本翻三倍。进口额去年39.6亿刀,荷兰占六成,中国自给率才25%,高端全靠外头。这不光是设备的事儿,还卡住整个产业链脖子。国内网友急眼了,微博B站到处刷帖,数据图表飞起,有人说路堵死了,有人喊自力更生是王道。国家层面,政策跟上,专项资金砸下去,上海微电子他们从90纳米起步,咬牙往前拱。     朱士尧这话说出来,本是聊半导体瓶颈的访谈视频,才两分钟。2024年9月7日,腾讯新闻新浪一推,阅读破百万。B站剪辑弹幕刷屏,知乎问题上千答,有人贴吴汉明院士2021年的话,说光刻机得国际合作,单国玩不转。朱士尧背景硬,中科大物理教授,1944年生,原子核专业毕业,当过研究生院副院长,2005到2014年华为党委副书记,退休了还聊科技。他点出,光刻机体积如集装箱,10万零件,运飞机都得几架。光学德国,日本机械,美国软件,中国缺专利和技术底子。落后50到100年,这差距不是砸钱人海就能追。   视频一传,争议就起来了。一边觉得他讲实话,供应链太碎,材料纯度激光稳一卡就重来;另一边火大,说中国啥时候怂过?两弹一星高铁北斗,不都一步步啃下来?华为Mate60用7纳米,制裁下还突围。项立刚博主怼回去,说做出深紫外,就能上极紫外,就差光源。尹志尧中微创始人也回,国内上百家设备公司,盖半导体十大类,5到10年赶上。X平台9月18日帖子多,有人扒朱士尧华为经历,说他管管理不深技术,观点保守。外媒拿这当证据,说中国自己承认瓶颈。     这事儿闹大,业内会议都提,专利共享讨论热了。朱士尧10月另一场合重申,美国靠盟友,中国得一步步攒。网友从骂战转分析,怎么破局,国际合作加本土后备链。舆论痛点露出来了,一说“造不出”就上头,觉得长他人志气灭自家威风。其实他背景在那儿,从华为一线转高校,对痛点门清。话不是空谈,全球半导体分工细,美国禁运后中国吃亏,但也逼出创新劲头。   一年过去,朱士尧观点像警钟,提醒别急功近利。光刻机不是喊口号,原材料进口超90%,193纳米激光器靠美国Cymer,高纯硅片德国Wacker。这些卡点不破,先进节点难上。但中国这些年砸钱砸精力不少,从2020年自立自强提上日程,北京上海深圳实验室天天转。上海微电子主力,2022年搞定28纳米浸没式DUV,国产率超70%。     2025年上半年,国家集成电路基金加430亿刀,重点极紫外上游。上海光机所林楠团队《中国激光》3月发文,EUV光源转换效率近6%,用激光诱导放电等离子体LDP,能耗降45%,体积小30%。3月,样机SMEE-3600华为东莞厂压力测试,第三季度试产,2026年量产。能量密度ASML1.7倍,晶圆耗电少45%。中芯国际测宇量昇DUV,国产率从10%到15%。哈工大1月攻克13.5纳米极紫外光,功率50瓦。   产业链齐了,北京华卓精科科益虹源建雏形,光源物镜测量系统精度提。北大冷冻电子断层扫描减缺陷。9月中国电子展秀14纳米原型,参数公开,得奖。电子特气市场近300亿,年增10%,前驱体17亿,中国占12%。上海微电子联合华为中芯国际,创新联合体,年底28纳米国产100%。ASML中国销售额25%,需求猛。芯片自给率35%,中低端DUV批量替进口。EUV用LDP避传统坑,结合光子芯片新材料,跳出框架。     朱士尧话刺耳,但客观看,暴露老专家局限,没见年轻一代创新。中国从跟跑到部分领跑,用时短。高铁显示面板超算四代机火星登陆,都这样。产业链市场循环建,对光刻需求急,下游养企业迭代。光刻最复杂,精密光学真空软件缺一不可。中高端路长,尊重科学,但对中国工业潜力多点信心。全链自主指日可待。