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新华财经上海12月23日电（记者高少华）半导体前道工艺设备商青岛思锐智能科技股份有限公司（简称“思锐智能”）23日宣布，已于近期完成数亿元C轮融资。本轮融资由国开制造业转型升级基金、中国国有企业结构调整基金联合领投，招银国际、中银资产、光谷金控等多家具有深厚产业背景的知名投资机构共同参与。

思锐智能方面表示，本次融资资金将主要用于公司加速核心技术创新、新机型研发迭代及规模化生产能力建设。

思锐智能作为半导体前道工艺设备领域的企业，专注于原子层薄膜沉积（ALD）设备与离子注入（IMP）设备的自主研发与产业化。公司现已建立完善的原子层薄膜沉积设备与离子注入设备产品体系，产品广泛应用于集成电路、第三代半导体、新型显示及精密零部件镀膜等前沿领域，累计服务全球超过500家客户，业务覆盖40多个国家和地区。

2025年6月，思锐智能半导体先进装备研发制造中心正式落成投产，标志着思锐智能完成了从技术研发到规模化量产的完整产业能力建设。思锐智能董事长聂翔表示，依托该中心，思锐智能将加速突破原子层薄膜沉积设备与离子注入设备等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的纵深拓展。

2025年2月19日，证监会网站显示，思锐智能已在青岛证监局进行辅导备案，正式启动A股IPO。