1月21日，半导体设备ETF万家（159327）开盘跌1.21%，报2.282元。半导体设备ETF万家（159327）重仓股方面，中微公司开盘跌0.09%，北方华创跌0.24%，长川科技涨0.15%，沪硅产业跌0.17%，华海清科跌0.79%，拓荆科技跌1.08%，南大光电跌2.73%，安集科技跌1.59%，中科飞测跌0.18%，芯源微跌0.83%。

半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为130.61%，近一个月回报为31.06%。

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