1月21日，科创半导体设备ETF（588710）开盘跌1.44%，报1.910元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，中微公司开盘跌0.09%，华海清科跌0.79%，拓荆科技跌1.08%，沪硅产业跌0.17%，安集科技跌1.59%，中科飞测跌0.18%，芯源微跌0.83%，盛美上海跌0.51%，华峰测控跌1.00%，天岳先进跌2.10%。

科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为93.49%，近一个月回报为29.44%。

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