半导体设备ETF万家（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止2月2日，半导体设备ETF万家（159327）最新份额为5.29亿份，最新规模为10.99亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF万家（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加72.42%，规模增加95.83%。

流动性方面，截止2月3日，半导体设备ETF万家（159327）近20个交易日累计成交金额17.50亿元，日均成交金额8749.15万元；今年以来，22个交易日，累计成交金额18.82亿元，日均成交金额8555.30万元。

半导体设备ETF万家（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益18.69%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF万家（159327）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）002371北方华创14.04%17.17万7880.15万688012中微公司13.44%27.66万7543.44万688072拓荆科技6.95%11.82万3900.20万300604长川科技5.61%31.10万3150.74万688126沪硅产业5.18%134.24万2905.02万688120华海清科4.64%17.34万2602.64万688361中科飞测4.01%14.71万2250.48万300346南大光电3.70%48.41万2076.74万688019安集科技3.21%8.27万1803.00万688037芯源微2.99%11.29万1677.12万