2月9日，半导体设备ETF华夏（562590）开盘涨1.60%，报1.908元。半导体设备ETF华夏（562590）重仓股方面，北方华创开盘涨1.45%，中微公司涨1.62%，拓荆科技涨1.72%，长川科技涨2.36%，沪硅产业跌0.77%，华海清科涨2.05%，中科飞测涨2.08%，南大光电涨4.30%，安集科技涨1.85%，芯源微涨5.42%。

半导体设备ETF华夏（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之，成立（2023-10-09）以来回报为87.54%，近一个月回报为5.45%。