2月9日，半导体设备ETF（561980）开盘涨1.91%，报2.291元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘涨1.62%，北方华创涨1.45%，寒武纪涨2.22%，中芯国际涨1.86%，海光信息涨3.43%，拓荆科技涨1.72%，长川科技涨2.36%，华海清科涨2.05%，中科飞测涨2.08%，南大光电涨4.30%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为124.63%，近一个月回报为1.41%。