2月10日，半导体设备ETF（159516）开盘涨0.11%，报1.827元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨0.82%，中微公司涨0.00%，拓荆科技涨0.19%，长川科技跌1.86%，沪硅产业跌0.14%，华海清科跌0.06%，中科飞测跌0.18%，南大光电跌0.27%，安集科技涨0.00%，芯源微涨0.21%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为82.48%，近一个月回报为1.47%。