2月10日，半导体设备ETF（561980）开盘涨0.04%，报2.305元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘涨0.00%，北方华创涨0.82%，寒武纪涨1.67%，中芯国际涨0.23%，海光信息涨1.90%，拓荆科技涨0.19%，长川科技跌1.86%，华海清科跌0.06%，中科飞测跌0.18%，南大光电跌0.27%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为129.96%，近一个月回报为-1.97%。