2月10日，半导体设备ETF万家（159327）开盘涨0.05%，报2.175元。半导体设备ETF万家（159327）重仓股方面，北方华创开盘涨0.82%，中微公司涨0.00%，拓荆科技涨0.19%，长川科技跌1.86%，沪硅产业跌0.14%，华海清科跌0.06%，中科飞测跌0.18%，南大光电跌0.27%，安集科技涨0.00%，芯源微涨0.21%。

半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为117.32%，近一个月回报为1.51%。