2月11日，半导体设备ETF（561980）开盘跌0.69%，报2.290元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘跌0.71%，北方华创跌0.85%，寒武纪跌1.09%，中芯国际跌1.89%，海光信息跌1.54%，拓荆科技涨0.02%，长川科技跌0.16%，华海清科涨0.17%，中科飞测涨0.61%，南大光电跌1.92%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为130.83%，近一个月回报为-1.59%。