2月13日，半导体设备ETF广发（560780）开盘跌0.80%，报1.982元。半导体设备ETF广发（560780）重仓股方面，北方华创开盘涨1.00%，中微公司跌0.63%，拓荆科技跌0.34%，长川科技跌0.94%，沪硅产业跌0.15%，华海清科跌0.05%，中科飞测跌2.19%，南大光电跌1.61%，安集科技跌1.37%，芯源微跌0.28%。

半导体设备ETF广发（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为吕鑫，成立（2023-12-01）以来回报为99.82%，近一个月回报为-0.43%。