2月13日，半导体设备ETF（159516）开盘跌0.66%，报1.802元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨1.00%，中微公司跌0.63%，拓荆科技跌0.34%，长川科技跌0.94%，沪硅产业跌0.15%，华海清科跌0.05%，中科飞测跌2.19%，南大光电跌1.61%，安集科技跌1.37%，芯源微跌0.28%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为81.36%，近一个月回报为-0.46%。