半导体光刻胶按波长分为:g/i线(365/436nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、ArF浸没式、EUV(13.5nm)。波长越短,解析度越高,难度也呈指数上升。
KrF光刻胶:国产化率冲至35%
ArF光刻胶:高度依赖进口,国产化率很低。
EUV光刻胶:国产化率基本为0,完全依赖进口
光刻㬵主要由四⼤组分构成:树脂、光引发剂、溶剂和添加剂,树脂是光刻胶的主体,占成本约40%-50%。它决定了成膜性能、分辨率、抗刻蚀性等关键指标。
光刻胶树脂就像‘纳米级的积木’,所有精密的显示器和芯片,都由极其细微的像素和电路组成。这种‘积木’的分子结构,决定了它的精度、灵敏度和硬度,最终影响屏幕的清晰度与芯片的性能。
高端光刻胶树脂尤其是ArF、EUV级要求精确控制分子量分布和金属离子含量,制备过程涉及高分子聚合、精馏与多级纯化。
COC(环烯烃共聚物)低吸光、高耐热、高纯度、低双折射,完美匹配先进制程,特别是EUV/ArF对分辨率、线宽粗糙度(LWR)、图形保真度的严苛要求。
传统树脂无法满足光学与纯度要求,COC作为树脂在先进制程EUV/ArF中不可或缺。
第四届COC/COP技术与市场大会
目前,COC/COP国产化进入量产突破期,2026-2028年将是关键窗口期,COC/COP树脂结构稳定性、质量批次一致性成为量产关键,装置连续化、长周期运行是量产门槛,提高质量稳定性与突破量产瓶颈,是单体纯度、催化剂开发、聚合、纯化、下游应用验证等系统的集成优化与创新,是全产业链的融合与协同革新,实现问题快速响应、工艺即时调整,满足下游光学、药包材、半导体的ppm级一致性要求,以及不断增长的需求。
为提高COC/COP产业链协同维度,构建上下游产业共生新生态,《中国化工报》社有限公司定于2026年4月8-10日在深圳举办第四届COC/COP技术与市场大会,为COC/COP提高试产合格率、加快应用验证与优化,提高装置有效产能搭建交流平台。
一、组织机构
主办单位:
《中国化工报》社有限公司
二、时间和地点
时间:4月8-10日(8日下午报到)
地点:深圳
三、主要议题
1.COC/COP聚合单体开发
2.COC/COP连续聚合工艺与装备
3.COC/COP连续纯化工艺与装备
4.全球COC/COP材料市场现状与趋势:赋能药包产业高质量发展-德国肖特
5.催化剂及配体开发
6.COC/COP脱灰脱挥工艺与装备
7.COP加氢催化剂开发
8.环烯烃光电应用现状与发展展望-深圳信维通信
9.COC/COP低内应力、耐热、增韧等改性助剂开发
10.COC/COP光学与半导体应用
主题报告继续征集
四、会议费用
1.收取会务费3500元/人(含餐饮费、资料费、场地费等);
2.3月31日之前报名且汇款,优惠至3200元∕人;
3.珠三角光学、半导体、显示膜公司参会费用减免
4.住宿统一安排,费用自理。
汇款信息:
单位名称:《中国化工报》社有限公司
开户行:工行北京分行六铺炕支行
账号:0200022309004600937
五、联系方式