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常州大学石油化工学院副教授王俊团队在电子级氯气纯化与全流程安全控制技术领域取得关

常州大学石油化工学院副教授王俊团队在电子级氯气纯化与全流程安全控制技术领域取得关键性自主突破,依托自研精密精馏纯化工艺,成功制备出纯度达99.9999%(6N级)的高纯电子级氯气,产品核心指标跻身国际先进水平,打破了国外在高端电子特气纯化技术领域的长期垄断。

电子级氯气堪称搭建芯片微观结构的“刻刀”与“清洗剂”。28纳米以下先进制程对氯气纯度要求极为严苛,气体中水分、金属杂质含量必须严控在ppb(十亿分之一)级别,纯度需达到6N级,成为国产化难度最高、进口依赖度最大的电子特气品类之一。

全球核心供应商(第一梯队)有几家公司长期占据全球主要市场份额,拥有深厚的技术积累和覆盖全球的供应链。

比如日本Resonac(原昭和电工 Showa Denko),是全球最大的电子特种气体供应商之一。在刻蚀气体领域具有极高的市场占有率,其高纯氯气广泛应用于尖端逻辑芯片的刻蚀工艺。

Linde(林德): 全球工业气体巨头,通过其旗下的电子气体部门为全球主流晶圆厂(如台积电、Intel、三星)配套供应包括氯气在内的全系列电子特气。

Air Liquide(液化空气),在亚洲(中日韩)半导体高地拥有极强的现场制气和服务能力,是高纯氯气的主要稳定供应商。Taiyo Nippon Sanso(大阳日酸): 日本大型气体公司,在超高纯气体纯化技术上具有优势,是日系半导体供应链的核心。