光刻机唯一性10家A股公司梳理：

1. 张江高科（600895）A股唯一参股上海微电子（国产光刻机整机龙头）上市公司，持股10.78%。

2. 茂莱光学（688502）国内唯一量产DUV光刻机投影物镜镜片组企业，供货上海微电子。

3. 福晶科技（002222）全球LBO/BBO激光晶体绝对龙头（市占80%），ASML核心材料供应商。

4. 奥普光电（002338）国内唯一量产纳米级光刻机双工件台，市占超65%。

5. 炬光科技（688167）全球少数、国内唯一供DUV/EUV光场匀化器，进入ASML供应链。

6. 南大光电（688389）国内唯一28nm ArF光刻胶量产并通过晶圆厂认证企业。

7. 同飞股份（300990）光刻机激光器唯一国产温控供应商（±0.1℃精度）。

8. 华特气体（688268）国内唯一通过国际认证的ArF光刻混合气供应商。

9. 新莱应材（300260）半导体唯一高端真空/气体管路系统国产龙头。

10. 蓝英装备（300293）子公司为ASML供EUV清洗，国产光刻清洗设备唯一替代龙头。