【简讯】近日,上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等单位,依托书生科学大模型,成功研制出高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂,打破了国外长期垄断。
该成果通过AI决策与自动化合成闭环体系实现:书生科学大模型Intern-S1生成实验方案,结合全流程自动化合成,规避人工污染,并利用SCP协议连接数字大脑与物理执行端,实现远程调控。
核心指标方面,树脂金属杂质含量稳定控制在10ppb以下,分子量分布指数(PDI)小于1.3,批次稳定性达±10%,显著缩短了研发周期。
目前该成果已进入客户端验证阶段,为光刻胶材料的标准化快速迭代开创了新路径。
【个人观点】
此项研究是AI驱动材料科学从“经验试错”迈向“智能设计”的典型范例。传统光刻胶研发高度依赖人工经验与漫长实验,而书生大模型通过多目标优化与自动化闭环,不仅大幅提升了树脂纯度与一致性,更将研发效率提升至新高度。
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这标志着我国在高端半导体材料领域初步掌握了标准化、可复制的AI加速研发范式。
值得关注的是,SCP协议打通了AI决策与物理实验的异构通道,使远程协同研发成为可能。
未来若能在客户端验证中稳定量产,有望真正打破国外技术壁垒,增强我国光刻胶产业链自主可控能力。可进一步探索该范式向其他电子化学品领域的迁移应用。
【注】以上为个人观点,仅供参考。


