电子特气概念梳理事件驱动电子特气是半导体制造的关键材料,被称为半导体材料的“粮食”,在芯片制造中各环节承担着核心作用:- 二氯二氢硅:作为“建筑工”,负责沉积硅层- 三氟化氮:作为“清洁工”,负责清洗反应腔- 六氟化钨:作为“布线工”,负责沉积金属钨导线- 六氟丁二烯:作为“高级雕刻师”,负责纳米级精密刻蚀随着半导体技术向7nm、5nm及以下先进制程演进,对电子特气的纯度、种类和稳定性提出了更高要求,使其成为全球高端材料领域的战略物资。 部分相关核心上市公司一览表六氟化钨- 中船特气:年产2000吨/年,公司六氟化钨全球覆盖率70.31%- 昊华科技:产能600吨/年,产品应用于半导体制造- 中炬芯:产能600吨/年- 和远气体:有年产500吨六氟化钨生产装置- 至纯科技:子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨二氯二氢硅- 三孚股份:批量供应电子级二氯二氢硅,产能850吨/年- 和远气体:试生产电子级二氯二氢硅,产能300吨/年- 金宏气体:试生产电子级二氯二氢硅,产能200吨/年- 华塑股份:电子级二氯二氢硅已完成可行性研究,规划产能500吨/年- 中国中冶:下属中硅高科转型升级项目,主要产品包含电子级二氯二氢硅三氟化氮- 中船特气:产能18500吨/年,全球覆盖率65.03%- 南大光电:产能8300吨/年,是国内电子特气龙头之一- 华特气体:新募投项目拟建产能1000吨/年,产品覆盖多种电子特气- 昊华科技:年产5000吨/年,在建产能6000吨/年- 广钢气体:正筹建3000吨电子级三氟化氮项目六氟丁二烯- 昊华科技:产能1200吨/年,全球第一- 中船特气:产能200吨/年- 中炬芯:175吨/年电子级六氟丁二烯项目已建成- 华特气体:在建项目有年产300吨六氟丁二烯合成项目- 金宏气体:在建产能200吨/年其他电子特气相关企业- 凯美特气:电子特气包括超高纯气体和光刻气,通过ASML子公司认证- 雅克科技:子公司生产高纯四氟化碳、六氟化硫等,应用于半导体蚀刻环节- 桥源股份:公司高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域,已与多家半导体产业链企业合作- 建业股份:超纯氨产能13000吨- 三孚股份:年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子三氯氢硅设备- 杭氧股份:国内空分设备市占率第一,2024年空分设备营收45.25亿元- 福斯达:2024年空分设备营收19.17亿元 本内容来源公开资料,仅供参考,不构成任何投资建议。
