据报道，当地时间6月1日上午10时32分，SK海力士位于韩国忠清北道清州市的第四园区发生火灾并伴随氟气泄漏，7人被送医检查，厂内约3600名员工紧急疏散。
火灾发生在连接M15与M15X晶圆厂的气体机房六楼，火情触发自动喷淋系统，明火迅速被控制。但过程中有少量氟气泄漏，7名员工送医检查，其中5人报告眼睛刺痛，2人无异常，经检查均无大碍。SK海力士于13时38分完成残留气体清除，经确认无异常后重新开放全部厂区。
SK海力士表示，火灾未影响半导体核心生产线，设备运行正常，生产未中断。起火原因正在调查中，初步推测系气体管道内出现问题。