尼康宣布开发1.5μm光刻机

尼康宣布开发一款高生产率的数字光刻系统，用于半导体制造的后端封装。该系统提供1.5μm分辨率，吞吐量则会从DSP-100的每小时50块提升30%以上。

2025年7月，尼康宣布DSP-100系列1.0μm光刻机（配图）开始接受订单，并将于2026年内出货。