美国商务部长卢特尼克声称ASML公司的一台光刻芯片制造设备可能流入中国。ASML的极紫外光刻机造价约为3.7亿美元，需要多架波音747飞机才能运输。ASML否认了这一指控，称从未向中国运送过极紫外光刻机。