【天风电新】射频电源更新：AI紧缺周期，国产化有望加速-0622
1、当前时点为何看好射频电源？
射频电源所在的下游设备环节国产化率高，且行业有强周期属性，本轮AI紧缺周期国产化有望加速。
2、射频电源的下游如何？
射频电源核心功能是通过控制电流频率和功率影响等离子体变化，应用在50%以上的半导体设备环节，如薄膜沉积、刻蚀、清洗等。
射频电源所在设备环节国产化率较高，其中，在中微公司、拓荆科技等国内下游厂商的推动下，刻蚀、薄膜沉积环节的国产化率分别达40%+、25%+，为射频电源提供良好客户环境。
3、怎么看射频电源的国产替代节奏？
射频电源周期性强，需求快于设备交付，头部美资厂商MKS在历史上行周期，半导体业务增速跑赢下游1-2倍。
本轮AI周期下，半导体设备增速有望达25%-30%，且持续性强，目前海外射频电源&真空泵均因紧缺涨价10%。我们认为，AI紧缺有望加速射频电源国产化趋势，下半年将加速导入。
MKS在5月业绩会披露，相较以往高景气周期，本轮AI周期其来自国内设备厂商的营收会大幅缩减，国产化趋势显著。
4、国内厂商的进展？
行业主要由美资MKS、AE等主导，海外厂商在国内市占率达80-90%
目前，国内的英杰电气与恒运昌已批量供货28nm、14nm等成熟制程的射频电源，先进技术节点达7nm，性能对标MKS、AE次新一代产品，且价格仅有60%。
同时，国内厂商正从单一射频电源迈向【射频电源+匹配器+真空泵】一体化系统，解决多供应商方案下的故障痛点，且对应价值量有约翻倍增长。
英杰电气5月收购开物智能，其主营高端干式真空泵，补全了一体化系统的主要零部件。
⭐️投资建议
往2028年看，预计PECVD、干法刻蚀等设备国内市场有望达1500亿元，射频电源一体化系统价值量占比约11%-15%，对应市场规模约200亿元。
参考下游设备国产化率，若国内单一射频电源厂商实现20%市占率，30%净利率下，对应12亿元净利润体量，较2025年英杰电气、恒运昌1-2+亿元盈利有显著弹性，重点推荐！
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