高纯二氧化碳概念个股梳理

$华特气体 sh688268$ ：6N-7N 高纯 CO2 通过头部晶圆认证，适配 7nm 及以下先进清洗、刻蚀配套，多品类特气协同供货

$XD广钢气 sh688548$ ：自主掌握超临界 CO2 提纯与输送技术，自有电子级 CO2 产能，配套合肥、武汉晶圆基地

$中巨芯 sh688549$ ：量产 5N 高纯 CO2，适配晶圆刻蚀、超临界清洗，稳定供应国内成熟及先进产线

和远气体：自研 6N 高纯 CO2 提纯设备，配套华中区域晶圆、面板产线

侨源股份：在建万吨级半导体专用 CO2 产线，现阶段处于客户验证、小批量测试阶段

杭氧股份：工业气体巨头，液态 CO2 产能规模优势，配套半导体大宗气站

冰轮环境：CO2 液化、压缩、封存制冷设备龙头，配套 CCUS 全流程低温装备

至纯科技：承建 12 寸先进制程大宗气站，统一配送高纯 CO2，绑定中芯、长鑫等头部晶圆厂

正帆科技：主营高纯气体管路、气柜、工艺输送系统，覆盖电子级 CO₂，全套输送配套设备

中船特气：全品类电子特气布局，高纯 CO2 作为配套气源打包供货国内外芯片厂商

昊华科技：具备 CO2 捕集提纯技术，核心主业为含氟特气，二氧化碳仅为辅线配套产品

金宏气体：国内超临界 CO2 标杆，5N/6N 级量产，专供 3D NAND、先进制程清洗，批量供货存储大厂

凯美特气：电子级 CO2 产能龙头，6N 级别高纯品量产，覆盖国内多数 12 寸晶圆厂，原料成本优势突出

中触媒：CO2 催化转化催化剂龙头，CO2 制甲醇、烯烃核心催化材料

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