光刻胶领域最近有大突破！华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔·萨帕希斯领衔的团队，提出间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法。这种方法能让薄膜沉积速率和厚度可控，还进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证，成果发表在《自然 - 化学工程》。
此前aZIF薄膜就被用作先进光刻胶，这次实现其大面积、高精度可控制备，对先进光刻工艺意义重大。团队还制备多种aZIF薄膜，测试图案化性能，验证其在下一代光刻技术应用的可行性。另外，复旦大学也成功研发半导体性光刻胶，提升了有机芯片集成度。光刻胶发展未来可期！