被称作芯片刻刀的高纯氟化氢材料,迎来国产量产的重要突破,6N级超高纯度产品实现规模化生产,打破了海外企业长期把持多年的垄断局面。
长久以来,高端半导体制造所用的氟化氢,大部分都由国外几家企业供应,相关出口管制随时会给国内晶圆工厂带来断供的压力。普通纯度的化工原料达不到芯片生产标准,微小的杂质就会让整片晶圆报废,想要制作先进制程芯片,就必须依靠6N级别的电子特气。
科研团队搭建起全新的提纯系统,一步步控制生产里的杂质含量,把金属杂质的数值压缩到极低范围,整套生产和检测流程都做到自主可控。这项材料可以用在蚀刻和晶圆清洗工序,在芯片表面雕刻出精细的电路纹路,是14nm甚至更先进制程里不可缺少的耗材。
随着国产化生产线投入运行,进口材料高昂的价格会慢慢回落,国内芯片工厂的生产成本能够得到有效控制。不只是单一材料实现替代,它还能配合国产刻蚀设备一起使用,一点点补齐半导体产业链上的薄弱环节。
半导体材料的突围从来都不是一件轻松的事,从5N纯度提升到6N纯度,需要整套工业体系的支撑,不是简单的加工升级就可以完成。这次的量产落地,给国内芯片产业链增加了一层安全保障,减少外部环境变化带来的供应链风险,也为后续各类算力芯片、存储芯片的扩产,打下了扎实的原料基础。 半导体高纯气体 氟化产品 半导体氢氟酸 氟化氢气体 氟化液工艺 氟化氢氨氢氟酸 氟化氢泄漏