射频电源专家会议交流

聚焦半导体射频电源赛道，本文基于行业专家交流，拆解市场空间、价格成本、订单节奏、国产化逻辑与竞争格局。

一、市场空间：国产设备替代千亿级，射频电源对应百亿容量

半导体设备占晶圆产线总投资的 60%-70%，其中光刻、刻蚀、薄膜沉积三类核心设备合计占设备总价值的 70% 左右，单类占比均处于 20%-25% 区间。

射频电源占半导体设备价值的 10%-15%，各工艺段占比无明显差异。

当前光刻环节基本由海外垄断，无国产化供应；刻蚀环节国产化率从 2025 年的 30% 以上提升至接近 60%，薄膜沉积国产化率相对更低，其余工序国产化率约 30%-40%。

剔除光刻环节，国产半导体设备长期替代规模在 1000-1500 亿元区间，对应国产射频电源市场空间约 100-150 亿元。

若未来光刻实现国产化突破，市场容量将进一步扩大，短期两三年内突破概率较低。

二、价格与成本：上游原材料提价，新品传导约 10% 上浮

2026 年电力电子行业整体处于价格上行周期，海外品牌受地缘等因素供给受限，价格走高。

国内厂商存量产品价格变动较小，新导入产品定价上浮约 10%。

成本端：PCB 价格上行约 30%，阻容感元器件价格上行 10%-15%；其中 PCB 价值占比不高，对总成本影响有限，主要影响生产排期。功率芯片价格波动较小。

出货量同比接近翻倍，人力等固定成本被摊薄，整体单位成本下降。

产品导入周期约 3-6 个月，Q3 起提价新品逐步发货，收入端价格效应在 Q3-Q4 逐步体现。

三、订单与业绩

行业订单无明显季节性，呈逐月向上态势，核心驱动为国产设备厂加速导入国产电源。

2026 年英杰射频电源发货口径约 7 亿元，确认收入约 6.5 亿元，基本为射频电源业务贡献。集团整体营收目标约 10 亿元，同比略有下行，半导体业务是核心增长板块。月度新签订单约 4000-5000 万元，季度维度单季度约 2 亿元，整体节奏平稳增长。

客户结构上：中微全年射频电源采购规模约 15 亿元，英杰供应占比约 20%-30%，贡献约 3-4 亿元收入；拓荆全年射频电源采购约 6-7 亿元，英杰贡献不足 1 亿元，其余份额主要由恒运昌占据；华创贡献约 1 亿元。

2027 年核心增量来自刻蚀之外的工艺段拓展，中微份额提升空间有限，整体收入扩张节奏慢于 2026 年；2028 年随着新工艺导入完成，扩张节奏将有所修复。

四、国产化逻辑：地缘因素加速导入，服务优势支撑长期替代

2025 年上半年之前，国产电源导入节奏缓慢，设备厂优先采购海外成熟产品，单台设备使用周期长，替换意愿较低。

2025 年上半年先进制程半导体电源管控传闻扩散后，国内设备厂开始主动对接国产电源厂商，经过约半年验证，国产产品性能达标，导入节奏全面加快。

即使未来海外供给缓解，国产替代趋势也不会出现明显反转。国内厂商售后响应速度优于海外厂商，设备厂对服务依赖度较高；参考光伏行业电源替代路径，国产份额稳定后不会出现大规模回流。

五、竞争格局：头部厂商绑定核心客户，横向拓展工艺边界

国内射频电源主要参与者包括英杰、恒运昌，以及华创旗下北广科技，其余厂商体量较小。

1.英杰：与中微绑定深度较高，同时拓展拓荆等客户，切入薄膜沉积工序，后续将进一步覆盖清洗、热处理等国产化率较高、价值量较低的工序。

中长期维度：目标占据国产射频电源市场 1/3-1/2 份额，对应收入规模 20-30 亿元。成都生产基地投建支撑产能扩张。

2.恒运昌：深度绑定拓荆，在薄膜沉积环节配套成熟，占据拓荆供应链主要份额。

3.北广科技：华创此前收购的电源公司，年营收约 1 亿元出头，研发实力与头部厂商存在差距，未进入华创核心供应链。

匹配器方面：射频电源配套匹配器价值量占比不到 20%，英杰新品自研匹配器占比接近 1/3，未来占比将持续提升。

六、真空业务：配套拓展品类，短期难有大额贡献

真空设备占半导体设备价值约 10%，整体市场体量约为射频电源的一半。

开物智能此前以代理业务为主，年营收约一两千万；与英杰配套后，主要对接中微刻蚀、薄膜沉积工序，内部已成立专门部门推进。

产品验证及订单转化周期较长，半年内难出现显著规模增长。

七、行业梳理

设备厂商：中微公司、拓荆科技、北方华创

射频电源厂商：英杰电气、恒运昌

风险提示：国产化进度不及预期，原材料价格波动