世界上最光滑的表面是 EUV极紫外光刻机镜片。它的镜片粗糙度优于50皮米以下（1皮米=10 的-12 次方米）。最新一代EUV光刻机，最大镜面1.2米,表面粗糙度仅仅只有20皮米（均方根)，面精度(峰值与谷值的差值）也仅仅只有0.12纳米。这也是为什么EUV光刻机需要在真空中工作,而且连病毒细菌都不能污染毕竟一个病毒的大小往往都能达到20~250纳米。生活手记