余承东首次在国际场合公开确认,国内正在攻坚EUV光刻机。此前有关EUV大多只是论文与网传消息,而由行业关键人物出面表态,相当于明牌:我们没有放弃先进制程的攻关。
EUV难度极高:它依靠13.5纳米的极紫外光做光刻。光源需要用高能激光每秒5万次击打锡滴产生等离子体;极紫外光极易被吸收,光路必须全程真空、依靠反射镜传导,整套技术体系和DUV完全不同。并且ASML只是集成商,一台EUV汇聚了欧美等全球五千多家供应商的顶尖技术,构筑起极高的行业壁垒。
目前国内多个科研机构,在光源、反射镜、工件台等关键零部件陆续取得进展。当下最大的难关,是十几万个零部件实现纳米级精度的整机整合。
与此同时,华为另辟蹊径,依靠技术堆叠方案,实现芯片性能追赶,为EUV的研发争取宝贵的时间。
这是一场以十年为单位的持久战,既不用过度焦虑差距,也不要轻信速成的消息。方向已定,稳步前行。

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