芯片史上最贵的一堂课,是尼康上的。这期批注尼康的美国专利 US20240126178A1(图5-6),图2-4讲它怎么从王座上走下来。
先说结论:1989 年前后,尼康光刻机全球份额超八成;2019 年出货额口径,ASML 一家 81.2%,尼康只剩 5.9%(据公开报道)。它不是死于技术,是死于两次选择。
三个发现(含判断):
① 王座是"国家队"给的。1980 年,通产省主导的 VLSI 联盟把光刻机交给尼康——官网历史原文:NSR-1010G,把电路图案缩到十分之一。
② 第一次败选:2002 年。台积电的林本坚带着浸没式方案上门,被拒;尼康押注 157nm 干式。两年后 ASML 和台积电把浸没式做成了行业标准。
③ 第二次败选:EUV。全自研、全日本产,投入逾千亿日元,2018 年项目终止(据公开报道)。ASML 靠全球联盟赢了。
我的观点:它没死,这才是最值得看的部分。ArF 干式它还占 61.7% 第一;2025 年又发布了首款无掩模光刻系统,杀进先进封装的新牌桌。败仗值得讲,因为"怎么输"和"怎么活",它都演了一遍——傲慢的代价,和反击的姿势,一个号都该看。#当然要记录啊 #爱上工作的瞬间 #光刻机 #芯片#asml #半导体#硬核科技