5、奥普光电依托长光所技术优势,主攻半导体超精密光学、光栅、结构件。拥有完整光学加工产线,半导体精密元件已进入小批量验证。4、永新光学全球精密光学龙头,产品切入光刻机对准、照明、量检测核心系统,为蔡司、尼康核心供货,光刻光学配套实力扎实。3、先锋精科国内稀缺7nm/5nm制程刻蚀、薄膜零部件量产企业,主营腔体、内衬、加热器等晶圆核心工艺件,先进制程替代领先。2、托伦斯半导体精密金属零部件龙头,覆盖腔体、匀气环、加热组件等。深度进入北方华创、中微、拓荆科技供应链,新品持续验证落地。1、富创精密IC零部件绝对龙头,覆盖真空腔体、光刻机部件、静电卡盘等全品类。多项核心产品打破海外垄断,实现头部设备厂商批量国产化替代。
