清华团队的SSMB原理验证装置已产生极紫外辐射，但这不等于光刻光源已能量产。它的价值在于探索加速器路线，挑战LPP的功率瓶颈；后续还要跨过稳定性、光学系统和工程集成等关口。国产EUV光源要看长期验证，不能把原理突破直接写成产业化进展。 国产EUV光源 ​​​