荷兰公司要是看到这条消息，估计肺都要气炸了！10月12日，第二十六届中国国际工业博览会上，中国一家小型科创企业亮出国产EUV光源样机，国产化率达到90%，而这个机子正是高端光刻机的心脏。

我特意去翻了下这家公司什么来头。朗道燧岩，2024年才成立，名字听着像修仙小说里的门派，实际是从清华实验室走出来的一帮人。创始人王豪博士带着团队闷头搞了两年，直接把样机搬到了工博会展台上。现场那台机器看着不算起眼，但懂行的人路过都得愣一下。

愣什么？愣的是这台样机身上贴着“国产化率90%”的标签。过去咱们聊EUV光刻机，聊的都是“整机买不到”，光源、光学系统、双工件台三大件全卡在别人手里。这回等于有人把最烫手的那块零件，硬生生从零啃到了能上展台的份上。朗道燧岩的技术路线选了LPP，也就是激光等离子体方案，跟ASML走的是同一条道——这条路难走，但走通了就是工业级的路。

可你要真以为这就能跟ASML掰手腕了，那也太小看这行的水有多深。现场工作人员自己都承认，距离量产还得三到五年。样机的EUV能量输出是15W级别，ASML早在2018年就把250W的版本推向了量产，眼下正奔着1000W去。15W和250W之间差的不是十六倍数字，是等离子体稳定性、光源寿命、系统集成可靠性一层一层往上叠的工程鸿沟。一台EUV光刻机里，光源得每秒发射五万次高功率激光，轰出四十万摄氏度的等离子体，整套设备安装要两百五十名工程师干六个月。朗道燧岩一台五十人规模的初创公司，手里握着千万级融资，要跨过这道坎，钱和人都是硬仗。

再说那90%国产化率，剩下那10%是什么？是光源系统里最要命的几个环节——大功率CO2驱动激光器的核心器件、高精度光学检测模块。这些玩意儿国内目前还得伸手。ASML背后的供应链是什么体量？蔡司一家给EUV光刻机供光学系统，单个High-NA镜片模组由一百多层镀膜构成，制造周期一年，调校精度相当于把激光反射到月球还能打中一颗乒乓球。通快集团包了激光技术，蔡司和通快合计占了ASML EUV整机附加值的五分之二。这不是一家公司跟一家公司的较量，是一个国家在跟一整个欧洲精密制造体系赛跑。

但话说回来，正因为差距摆在那儿，这台样机才值得多看两眼。2024年才注册的公司，2025年拿到张江高科天使轮，2026年就完成了A轮，投资方里头还有中芯聚源这种产业资本。资本的嗅觉比谁都灵，它们肯往里砸钱，说明技术路线至少过了第一轮行家的眼。张江把这家公司塞进集成电路设计产业园，也不是做慈善，是在赌一个可能性——哪怕光源功率暂时上不去，先在光刻胶检测、掩膜检测这些EUV生态的边角领域把产品跑通，养活自己再图下一步。

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