荷兰那边要是听到这事儿,估计得气得跳脚!10 月 12 号,第二十六届中国国际工业博览会上,国内一家不起眼的小科创公司拿出了国产 EUV 光源样机,国产化率高达九成,而这玩意儿就是高端光刻机最核心的部件。
工博会开幕当天,朗道燧岩这家名不见经传的小公司就把 EUV 光源样机摆了出来,国产化率九成,正是做七纳米以下制程用的那种,现场工作人员说真正量产还得等个三五年,可就这一小步,已经够不少人心里一震了。
先说说这台机子为啥这么金贵。光刻机是整条芯片生产线上最花钱的设备,而光源又是光刻机里头最关键的部分。以前这块技术被海外几家公司死死攥在手里,买不买得到、什么时候能买到,全得看人家脸色,这口气多少人憋了好多年。
朗道燧岩这家公司,名字听着眼生,规模也小,就敢把样机摆到工博会上。现场工作人员一开口就是国产化率九成,大部分核心零件都是自己研发的,技术路线还跟国际大厂走的是同一条路。这话搁前几年谁敢信?光凭这份敢往外摆的魄力,就值得点个赞。
很多人可能没概念,EUV 不就是个灯吗,能有多难。
这么跟你说吧,你手机芯片上面挤着几百亿个小开关,要把这么细的电路刻到硅片上,全靠光刻这道工序。刻得越细,芯片越厉害,越省电。可要做到七纳米以下的精度,普通的光波长太长,刻不出来。
必须得上一种特别短的光,叫极紫外光,波长只有头发丝的几万分之一。
可这东西有个大麻烦,它几乎碰到什么就被什么吸收。空气能吸,玻璃能吸,连普通的透镜都扛不住。所以整个设备必须放在真空里,而且不能用透镜,全得靠镜子反光。
每面镜子上面镀了一百多层膜,磨得光滑到什么程度?打个比方,如果把镜子放大到整个德国那么大,上面最高的小凸起也就几毫米。就这种精度,全世界能做的公司一只手数得过来。
光源本身更是难到离谱。现在国际上最成熟的办法,是用一束功率超大的激光,打在每秒五万滴的锡液上,把锡滴瞬间打成等离子体,再从里面激发出这种极紫外光。
那束激光得有多大功率?从最初几瓦的小光点,放大到整整四十千瓦。锡滴比头发丝还细,你得让激光每一发都精准打在高速飞的锡滴上,偏一点都不行。
而且效率低得心疼,输入那么大的功率,最后真正变成有用的光的,大概也就千分之一,剩下的全变成废热,得想办法排出去。
这就是为什么荷兰那家公司花了三十年、砸了几百亿欧元,才把这东西搞成熟。他们的老板前不久还说,全世界就他们一家能造这种设备,能亮个光只是起步,要做到工厂里批量造芯片,中间的沟深着呢。
这话听着傲,但也不是完全吹。EUV 这东西,确实是全世界工业界最难啃的硬骨头。
那朗道燧岩到底是家什么公司?说出来你可能不信,这家公司 2024 年 8 月才成立,到现在也就两年多。创始人王豪博士,团队是从清华大学一个实验室出来的。公司刚成立那会儿,登记的员工数只有 6 个人。
对,6 个人。
就是这么个微型团队,拿了上海张江那边基金的天使轮投资,总共融了也就千把万。光刻机这个赛道,随便一台设备就卖十几个亿,这点钱连个零头都算不上。
可就是这么一家小公司,两年多时间,愣是把 EUV 光源样机给搞出来了。更关键的是,他们走的路跟国际大厂是同一套。这意味着什么?说明他们不是瞎摸,不是搞个玩具自嗨,而是直接对标最主流的方案,走的就是以后能真正量产的那条路。
现场的人说,这台样机已经能用来做芯片曝光测试了,不是那种摆在实验室里亮一下灯就完事的概念机。
当然了,咱也得冷静。从样机到真正量产,中间隔着十万八千里。荷兰那家公司从第一台样机到卖出去赚钱,走了快二十年。朗道燧岩自己也说,离量产还得三到五年。
而且 EUV 光源只是光刻机三大核心部件之一,除了光源,还有镜头、还有工作台,每一样都是卡脖子的硬活。光源解决了,不代表整台光刻机就能造出来了。
但为什么还是让人激动?因为过去这么多年,我们在这个领域听到的全是坏消息。禁运、限制、断供,想买买不到,想造不知道从哪儿下手。行里一度觉得,这条路是不是走不通了。
现在倒好,一个刚成立两年的小公司,直接把样机摆到了工博会上,告诉你国产化率九成,核心部件全是自己搞的。
这说明什么?说明这条路中国人不仅能走,而且已经迈开腿了。三五年量产听起来还远,但技术这东西,最难的就是从 0 到 1。样机都出来了,剩下的就是工程化的事,是时间和钱能堆出来的。
当年盾构机、当年光伏,哪一样不是从零开始,被人卡着脖子,最后硬生生杀出来一片天。EUV 这颗硬骨头,早晚也得啃下来。
