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荷兰要是知道中国这件事,怕是要得气得直跺脚!10月12号,中国国际工业博览会上,

荷兰要是知道中国这件事,怕是要得气得直跺脚!10月12号,中国国际工业博览会上,咱国内一家不起眼的小公司,掏出了一台自己鼓捣出来的EUV光源样机,九成零件都是国产的——这玩意儿,可是高端光刻机最要命的那块心头肉。

一台机器亮出来,参数一公布,网上立马分成了两拨人。

一拨说“才15瓦,人家ASML几百瓦,差了几十倍,有什么好吹的”,另一拨说“从零到一,再小也是突破”。

两种说法都对,但都没说到点子上,真正值得琢磨的东西,藏在那些没人愿意多看一眼的细节里。

朗道燧岩这家公司,2024年才成立,创始人王豪带着清华气体放电等离子体实验室的底子出来创业,做的偏偏是EUV光刻机里最难啃的那块骨头——光源。

这东西有多难呢,你可以把EUV光刻机想象成一个极度精密的光学系统,光源就是它的“灯泡”。

但这个灯泡不是通电就亮的,得用高功率激光去轰击锡液滴,在百万分之一秒内把锡加热到几十万度,激发出波长13.5纳米的极紫外光。

整个过程要在真空里完成,锡液滴每秒炸五万次,每次炸出来的等离子体尺寸要控制在几十微米,位置偏一点点,光就收不进收集镜了。

ASML在这个事情上磨了快二十年,才把功率从早期的几十瓦推到现在的几百瓦甚至正在冲一千瓦。

朗道燧岩的样机现在输出15瓦,等离子体尺寸做到60微米,稳定性3%。

单看数字确实不起眼,但关键是这个“灯泡”从激光器到锡滴发生器到收集镜,百分之九十的东西是他们自己攒出来的。

这就牵扯出一个很多人没注意到的信号:中芯聚源投了朗道燧岩的A轮。

中芯聚源是中芯国际旗下的产业投资平台,中芯国际是国内最大的晶圆代工厂,也是被EUV禁运卡得最难受的那一个。

一家晶圆厂的投资部门去投一家做EUV光源的初创公司,这事本身就说明问题——需求端在主动往上游伸手,而不是等着国家立项、等着科研院所慢慢磨。

产业资本进场跟财务投资进场是两码事。财务投资看的是回报周期,产业资本看的是供应链安全。

中芯聚源愿意掏钱,说明他们判断这个东西哪怕三五年内不能量产,技术路径和团队也得先绑住,这种绑定比任何口号都实在。

还有一个角度更有意思,朗道燧岩的技术路线是激光诱导等离子体,也就是LPP,跟ASML现在用的路线一样。

这意味着他们没打算绕道走什么“弯道超车”的野路子,而是直接对着主赛道硬碰,这个选择看似笨,其实聪明。

因为EUV光源往下走,配套的光刻胶、掩膜检测设备、光学系统,整个生态都是围绕LPP路线长出来的。

你如果选了一条完全不同的技术路径,哪怕做成了,下游所有东西都得跟着你重新适配,成本高得没人愿意陪你玩。

朗道燧岩选LPP,等于告诉整个产业链:我做的东西,你现有的配套体系能接得住。

但现实也得说清楚,15瓦到几百瓦,中间隔着的不是把功率旋钮拧大一点那么简单,功率上不去,晶圆曝光速度就慢,慢到没有商业价值。

一台EUV光刻机一天要处理上百片晶圆,光源功率不够,产能就上不来,代工厂算不过账来就不会买。

朗道燧岩的人自己也承认,量产要三到五年,这三年五年里,ASML不会停下来等,他们的客户已经在谈2029年甚至2030年的订单了,时间窗口就摆在那里,你追的同时别人也在跑。

所以这件事的本质不是“我们有了国产EUV光源”,而是“有一群人选择了一条最难的路,并且开始有产业资本陪着他们走了”。

从实验室成果到一台能运转的样机,中间隔着供应链、工程化、成本控制的一整套麻烦事。

90%的国产化率意味着剩下10%还得想办法,60微米的等离子体尺寸和3%的稳定性意味着离工业级要求还有距离。

但一家成立才两年的民企能把东西亮出来,至少证明了一件事:EUV光源这件事,不是只有国家砸钱、院所攻关这一条路可以走。

民间的技术底子加上产业端的钱和需求,正在形成另一条跑道,这条路能不能跑通,三五年后才有答案,但方向比速度重要,有人在跑比没人跑重要。