荷兰公司要是看到这条消息，估计肺都要气炸了！10月12日，第二十六届中国国际工业博览会上，中国一家小型科创企业亮出国产EUV光源样机，国产化率达到90%，而这个机子正是高端光刻机的心脏。



这家企业叫朗道燧岩，2024年才成立，创始人王豪博士带着清华气体放电等离子体实验室的成果出来创业，团队聚焦的是激光诱导等离子体EUV光刻光源技术。


一家成立才两年的小公司，在工博会上把EUV光源样机摆出来，旁边展位是火箭回收船和机器人，它看起来毫不起眼，但懂行的人一看就知道，这东西的意义不在展台大小。


先看样机本身的数据，这台低功率EUV光源系统FlintNano LPP-OXXO，驱动激光功率1000瓦，EUV能量大于15瓦，持续工作时间超过100小时，等离子体尺寸60微米，稳定性做到3% RMS。


现场工作人员说得很实在，国产化率90%，绝大多数核心零部件自主研发，技术路线跟国际领先厂商一致，目前可用于芯片曝光测试。


但真正要命的地方，不在样机做到了什么，在它离量产还有多远。


商用EUV光刻系统要求光源功率达到数百瓦级别，ASML的EUV光源早在2018年就推出了250瓦版本并实现批量生产，目前正在向1000瓦功率等级演进。


朗道燧岩的样机目前只有15瓦级别，从15瓦到数百瓦，跨越的不只是功率的倍数，还包括等离子体稳定性、光源寿命和系统集成可靠性的全面突破，现场工作人员自己承认，距离量产还需要3到5年。


但这件事的战略分量，恰恰不在“已经做到了什么”，而在“验证了这条路能走”。


EUV光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期以来受海外技术垄断与禁运限制，是制约中国高端芯片自主可控的关键环节。


现在一家成立两年的小公司，用清华实验室的技术底子，把这条技术路线跑通了，哪怕只是15瓦的样机，它证明的是这条路走得通，不是死胡同。


更有意思的是资本的嗅觉，朗道燧岩2025年10月拿天使轮，2026年1月完成天使+轮，2026年7月完成A轮融资，投资方包括沃衍资本和中芯聚源。


中芯聚源是中芯国际旗下的投资平台，中芯国际是中国最大的晶圆代工厂。


晶圆厂的投资部门去投一家做EUV光源的小公司，信号很清楚：这不是财务投资，是产业资本在提前卡位，中芯国际需要EUV光源，如果国产化这条路走通了，它就不用再看ASML的脸色。


ASML那边的反应更能说明问题，就在朗道燧岩展出样机的前几天，ASML首席财务官戴厚杰公开反对美国国会提出的MATCH法案，这个法案想进一步限制ASML向中国销售DUV光刻设备。


戴厚杰的原话是，这是一个糟糕的主意，将“适得其反”，加速中国本土技术的自主研发，ASML自己心里清楚，你越卡，中国自己搞的动力越足，朗道燧岩的样机摆在工博会展台上，就是这句话最好的注脚。


这件事不能吹过头，15瓦的样机离商用还有很长的路，3到5年的量产时间表能不能兑现，功率和稳定性能不能突破，都是未知数。


但有一点是确定的：EUV光源这个被ASML攥在手里几十年的核心技术，现在有中国公司在做了，而且做出了样机，而且拿到了产业资本的钱。



信源参考：

上海市政府官网（解放日报），《在工博会 看上海科创成果如何破除瓶颈、赋能制造、改善民生》，2026年10月14日
电子技术应用网（芯智讯），《国产EUV光源系统样机亮相 国产化率达90%！》，2026年10月15日