荷兰公司要是看到这条消息，估计肺都要气炸了！10月12日，第二十六届中国国际工业博览会上，中国一家小型科创企业亮出国产EUV光源样机，国产化率达到90%，而这个机子正是高端光刻机的心脏。

这家公司叫朗道燧岩，2024年成立，创始人王豪带着清华气体放电等离子体实验室的团队出来创业，公司规模不大，成立时间也不长，却在两年内把样机做了出来。

天使轮于上一年10月完成，今年7月完成A轮，中芯聚源、沃衍资本等产业资本参与投资，企业还进入上海集成电路设计产业园。

小公司能把设备搬到展台，当然不等于技术已经成熟，但在高端制造领域，能不能把关键环节做出样机，本身就是一道门槛。产业资本愿意下注，也说明这条技术路线至少获得了一定认可；至于最后能不能走到量产，还得看接下来的研发和验证。

EUV光源为何被称作光刻机的“心脏”？简单说，就是用高功率激光轰击锡液滴，形成等离子体，再从中产生极紫外光，供光刻机曝光使用。激光和锡滴要以每秒数万次的频率精准配合，位置稍有偏差，输出就会受影响。

听起来像是在追着一颗小液滴打，真正做起来，却要把速度、位置和稳定性都控制住。

朗道燧岩公布的参数包括：驱动激光功率1000瓦，EUV能量输出超过15瓦，连续工作时间超过100小时，等离子体尺寸稳定在60微米，稳定性控制在3%。这些数字并不意味着它已经能替代商用设备，但至少说明团队已经把光源系统做到了可以持续运行、可以测试的阶段。

差距也很清楚，成熟商用EUV设备需要几百瓦级的光源输出，而这台样机刚超过15瓦，光功率只是其中一道坎，后面还有寿命、可靠性、长期稳定运行等问题。

现场工作人员给出的预期是，距离真正量产还要三到五年，它可以用于曝光测试，却还不能直接承担先进芯片的规模化生产。

因此，这次亮相更像是一次阶段性报到，而不是“国产光刻机已经追平”，样机和量产之间隔着一整套工程化验证，15瓦与几百瓦之间也不是简单把功率拧大就能解决。把进展说清楚，不是泼冷水；恰恰是看见差距，才知道后面要补什么。

但技术突破从来不是等到万事俱备才开始，ASML从研发到交付第一台EUV样机，用了12年；此后又花了8年，才让客户愿意买单。

它走过的漫长周期，说明这类设备不可能靠一台样机就迅速成熟，也说明今天的早期进展不能轻看。真正重要的，是有人把最难的环节往前推了一步，后续还能不断迭代。

外部环境也让这条路显得更迫切，2018年，中芯国际曾支付1.2亿美元订金订购ASML的EUV设备，最终没有等到机器交付。高端设备受制于外部供应，带来的不只是采购难题，也让芯片产业链必须考虑：关键环节如果长期依赖别人，遇到限制时就可能陷入被动。

ASML首席执行官富凯今年5月谈到中国的技术发展时，打过一个比方：把一个人放到沙漠里，再告诉他没有食物，他会花多久开垦出一块菜园？

在他看来，这关乎生存，话从一家全球领先设备企业的掌舵者口中说出来，至少说明中国发展本土技术的动力，不是短期情绪，而是现实压力。

另一面，ASML首席财务官戴厚杰今年10月在财报会上反对美国国会限制对华销售DUV设备的提案，称这是“完全是一个糟糕的主意”。

这并不难理解：限制销售未必能让市场和供应链变得更安全，反而可能推动被限制的一方加快自研。商业利益、技术竞争和地缘政治交织在一起，企业的处境也没那么简单。

供应链上的博弈还延伸到稀土材料，高精度激光器和磁体系统涉及特定稀土材料，全球稀土磁体加工产能高度集中在中国。

7月，中国商务部将德国辛德豪瑟公司列入出口管制清单；这家公司被指是ASML供应链上的关键一环，对中国稀土供应依赖较高。相关限制若持续，可能在数月内给其供货带来压力。欧盟也在与中方谈判，希望以解除对一家中国企业的限制，换取辛德豪瑟解禁。

这类往来提醒人们，技术封锁不是单向按钮，你限制设备出口，对方也可能从材料和供应链环节回应，最后承受影响的往往不止一家企业。真正稳固的产业竞争力，还是要靠关键技术、稳定供应和持续创新，而不是指望对手永远卡不到自己的脖子。

朗道燧岩这台样机当然还不能改写全球光刻机格局，90%的国产化率也不代表所有难题已经解决。但它证明，一家从实验室走出来的小团队，也能开始啃这块硬骨头。路还长，15瓦也不够用；可从“做不出来”走到“有样机可测”，就是实实在在的一步。

技术不会因为被卡住就自动进步，却会在一代代人持续投入中，慢慢长出自己的答案。

信源：环球网 2026-10-12 国产 EUV 光源样机展出，EUV 光刻机核心部件取得突破